蒸發源材料石墨坩堝的設計原則

在金屬蒸鍍行業(ye) 中，用於(yu) 製備蒸發源的材料必須具有下列性能I 21】：
(1)具有合適的電阻率和電阻溫度係數，蒸鍍鋁時的容器電阻率在
1～151an·m，其他應用時為(wei) O．5～48V-o·rn；
(2)優(you) 良的耐熱性，如蒸鍍鋁的溫度在1450"C左右；
(3)優(you) 良的耐熱衝(chong) 擊性，在使用時蒸發容器必須經受多次冷熱循環，在通電
的起始階段可能出現急熱；
(4)優(you) 良的耐熔融金屬腐蝕性；
(5)具有足夠高的機械強度；
(6)在高溫下與(yu) 被鍍金屬熔液有良好的潤濕性；
(7)高純度，特別在用於(yu) 電子器件的真空鍍膜時；
(8)易機械加工；
(9)蒸發容器材料的蒸汽壓極低；
(10)製造成本較低；
對於(yu) 大多數金屬來說，石墨蒸發舟能與(yu) 許多餘(yu) 屬在高溫下發生反應生成碳化
物造成開花、凸泡直至完全破壞，影響了蒸發舟的使用壽命。後來研究人員采用
各種方法在石墨坩堝表麵塗覆一層或多層抗腐蝕、抗氧化的覆蓋層【22-241，但是在使用過程中同樣存在塗覆物脫落、破壞，以及使用時間不長等問題。這是因為(wei) 在製備石墨坩堝塗覆層時，塗覆物與(yu) 石墨基體(ti) 之間由於(yu) 物性參數不匹配，有殘餘(yu) 應力存在。製成品在冷熱循環的環境中工作時，裂紋在應力集中的地方擴展，長大，最終使得塗覆層脫落。由於(yu) 六方BN具有與(yu) 石墨極為(wei) 相似的晶體(ti) 結構和性質，兩(liang) 者的物性參數較為(wei) 匹配。六方BN是優(you) 良的絕緣體(ti) ，將其塗覆在石墨基體(ti) 上後，基本上可以解決(jue) 殘餘(yu) 應力大的問題。